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微米技术及晶圆处理

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在微米工程等级的betway必威安卓 以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。

行程200 mm x 200 mm, 亦可选购300 mm x 300 mm

全行程平面度±4μm

各轴重现性±1μm

各轴精度±4μm

洁净室等级100适用, 亦可选购等级10

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点击次数: 更新时间:2015-06-17
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